ストレスリリーフ用ポリッシャー
GNX8PB/GNX12PB

ストレスリリーフ装置のパイオニア

エアバック加圧方式及び、スキャニングポリッシュ方式を採用し、最少の取りしろで研削ダメージ除去を行います。
薄ウェーハ対応として、コインスタックへの収納ユニットを具備しています。
バックグラインダー（GNX200B/GNX300B）へのインライン接続だけでなく、スタンドアローン機としても使え、多品種少量工程に対応しています。