ファイナルポリッシャー　PNX332B

ファイナルポリッシャーのベストセラー

ポリッシュ取りしろ量の多い貫通電極（TSV）プロセスにも最適です。
3テーブルあるポリッシュステージで、中研磨から仕上げ研磨までを全自動で行う6枚のウェーハを同時加工する高生産機です。
Ra1Å以下の超輝度、超鏡面精度の加工を実現します。
ウェーハの搬送はエッジクランプ式のロボットハンドが行うためポリッシュ後の加工面を触ることはありません。

仕様