大型ポリッシングマシン　SPP Series

ピッチポリッシャー

ピッチポリッシャーはオプチカルフラットや高精度の反射鏡、光学ガラス、金属製品では精密測定機のベース基準面など、絶対平面と鏡面が要求される加工に対応できる装置です。
この装置で得られる平面度は１�uで30nm。200m角の東京ドームに例えれば、球場内の高低差が0.006mmであることに相当します。

オスカータイプ　ポリッシングマシン

液晶10世代対応フォトマスク加工用高精度ポリッシングマシン。