Manual CMP SPP600S/SPP800S

環境にも配慮したフレンドリーCMP

研究開発用途に最適なマニュアルタイプのCMP装置です。
表面基準、裏面基準の各種加圧方式に対応しています。
加工状況が1画面で全て把握できるユーザーフレンドリな画面構成となっています。
プライマリータイム設定により、常に安定したデータ収集が可能です。本機で得られたデーターは全自動ポリッシャーPNX332Bと相互にリンクでき、そのまま転用可能です。
また、シリコンを取りしろ10um研磨してもウェーハ形状を崩すことはありません。専用のドレッサー軸を持ち、ダイヤモンドドレッサーにも対応しています。
さらに、スラリーのリサイクル機構を持つなど、環境にも配慮した設計となっています。

仕様