研究開発用グラインダー SVG401H/SVG101

省スペースかつ多機能マシン

研究開発、難削材研削用のマニュアル式のグラインダーです。
SVG101はシャトルテーブルを持ち、マニュアルでのウェーハ着脱を容易に行える設計となっています。
SVG401Hは、高剛性構造と１１ｋWのビルトインモーター、及び機内に搭載された自動ドレス機能によりサファイアやSiCに代表される難削材や化合物半導体の連続加工を行います。
また、小径ウェーハのバッチ処理対応として、MaｘΦ450mmまでのチャックテーブルの搭載が可能です。（Φ3インチウェーハｘ20バッチ）