超精密マイクロプロファイル研削盤 UPG310Li

リニアモータと可変静圧スライドの最先端技術がコラボレーションした微細成形研削機の最高峰

リニアモータ駆動に加え、テーブル案内面に剛性に富んだ可変静圧スライドシステム、さらに主軸は高精度エアスピンドルを採用。形状精度、面粗度とも最高級精度をお約束します。

特徴

可変静圧スライドシステム

最高級の微細成形研削を実現させるためには、研削時もドレス時でも常に同一の上下位置を保つことが絶対条件です。そこで、本機には大型超精密平面研削盤で実績を重ねた、独自の可変静圧スライドシステム案内面を採用しました。

機上画像処理システムの進化

UPZ210Liで定評のある機上画像処理システムに新たに自動測定、自動補正機能を加え、微細成形研削加工の省力化を図りました。

鏡面加工を実現した主軸構造

主軸にはエアースピンドルを採用し、20000回転の高周速加工条件下での面粗度向上を図り、Ry0.2μｍ以下の鏡面加工を可能としました。さらに主軸は±3°旋回できるため、砥石を前後方向にわずかに傾け、 Vフェース先端のR形状を有効に使用して垂直面の面粗度が向上できます。