超精密平面研削盤 UPG Series

特徴

可変静圧スライドシステム

最高級レベルの真直度・平面度精度を得るために案内面の構造は、非接触で摺動する静圧方式が適しています。しかし従来の固定絞り式とも言える油静圧案内面は偏った荷重がかかると油膜の厚み（ギャップ量）が変化してテーブルに傾きが生じてしまうなど、偏荷重に弱い欠点がありました。
こうした欠点を克服した製品が、『可変静圧スライドシステム』を搭載した超精密平面研削盤です。この方式は、案内面油膜の変化を最小限にするため、流量をフレキシブルにコントロールし、従来の静圧案内面に比較し油膜の厚さの変化量は1/7、静圧案内面の静剛性は４倍に向上させました。

工作物をチャック左側、中央、右側に順に置いて研削し、それぞれ８ヶ所計測し、合計24ヶ所の総合値で平面度を評価した結果は全てのポジションで0.5μｍ以内に収まり、偏荷重に強いことを証明しました。

テーブルの浮き上り量をできるだけ最小限に抑え、テーブル左行・右行反転時に常に同じ高さで砥石が工作面に接することが面粗さを良くする上で重要な要素です。可変静圧スライドシステムは工作面全面で常にギャップ量を一定に保つことができる剛性の高さがあります。

仕様