小型超精密ロータリー平面研削盤　UPR3NC

超精密メカニズム

平行・平面度0.3μmの要求に対し、テーブル反転の案内面には可変静圧スライドシステムを採用。回転テーブルはエアーベアリングを採用した非接触案内面を採用し、真直性に優れ、かつ高精度な回転運動を保証します。
また、ナノ追従を重視した切込み軸は、高精度ローラーガイド採用で10ｎｍ送りをサポートしています。

ギャップ検出式直接定寸装置（オプション）

高速スピンドルのベアリングスペーサは、内外輪のギャップ量でプリロードを加えるのでペアの定寸管理が重要です。
この装置は、仕上げ厚みを計測しながら工作物の着脱をせずに１サイクルで仕上げるインプロセス測定を行っています。
当社のウエーハ研削技術を融合させたものです。