半導体関連製造装置450mmウェハー用ファイナルポリッシャー PNX1200/PNX1200S
Polishing Machine
～次世代大口径450ｍｍウェハーの要求スペックに対応した高剛性全自動ファイナルポリッシャー～
シリーズラインナップ
PNX1200・PNX1200S
コンセプト
450mmウェハー用では世界初の全自動ファイナルポリッシャー
特徴
・450mm対応のため、300mmファイナルポリッシャーのベストセラーマシンPNX332Bとは全く異なるユニークな装置構成。
・3テーブルあるポリッシュステージで、中研磨から仕上げ研磨まで6枚を同時研磨。
・ポリッシュ取り代量の多い再生ウェハーや貫通電極(TSV)プロセスにも最適。
・SPP1200Sはマニュアル式1テーブルタイプとなります。
