半導体関連製造装置スライシングマシン ASM420M / ASM200BR
External Internal Blade Type Slicing Machine
～高精度、高剛性スピンドルと高出力モータ搭載の内外周式スライサー～
シリーズラインナップ
ASM75A・ASM100A・ASM200・ASM200BR・ASM420M
コンセプト
日本で初めて脆性材、ゲルマニウムの切断機を開発して以来、半導体材料、電子部品材料等、常にユーザーニーズに応えるべく様々なスライシングマシンの開発をしてまいりました。
特徴
・内周式スライサーはシリーズ化し各サイズに対応しています。切断送り案内面の真直度、スピンドル回転精度は長年の工作機械設計製作で培った技術を基に高精度化しています。
また、機械振動は振幅レベルで１μm以下を保証した高精度機です。
・マルチスライサーASM420M⇒高剛性スピンドルと高出力モータの組み合わせにより、高能率スライス加工を実現したマルチスライサーです。
砥石ヘッドとコラムが一体構造の沈みコラム機構を採用。剛性が高く安定した加工精度が得られます。
また主軸モータに5.5kwの高主力タイプを標準装備。マルチホイールによる負荷容量の高い加工が可能です。
