半導体関連製造装置脆性材用バックグラインダー SVG401MKⅡ
Grinding Machine
～省スペース且つ多機能マシン～
シリーズラインナップ
SVG101MKⅡ・SVG401MKⅡ・SVG401H
コンセプト
難削材料の加工に最適な高剛性グラインダー
特徴
・研究開発、難削材研削用のマニュアル式のグラインダー。SVG101はシャトルテーブルを持ち、マニュアルでのウェーハ着脱を容易に行える設計となっています。
・SVG401は、高剛性構造と高馬力のビルトインモーター、サファイアやSiCに代表される難削材や化合物半導体の連続加工を行います。
小径ウェーハのバッチ処理対応として、Maxφ450mmまでのチャックテーブルの搭載が可能です。（φ3インチウェーハｘ20バッチ）
