半導体関連製造装置

ポリッシングマシン　SPPシリーズ

・SPP9600・SPP3800

[SPP9600]
・ピッチポリッシャーはオプチカルフラットや高精度の反射鏡、光学ガラス、金属製品では精密測定機のベース基準面など、絶対平面と鏡面が要求される加工に対応できる装置です。
　この装置で得られる平面度は１㎡で30nm。200mの東京ドームに例えれば、球場内の高低差が0.006mmであることに相当します。
・また、装置特徴としては、長期間に渡る精度維持のため、テーブルには熱変異を最小限に抑えるため専用の御影石を使用し、
　専用定盤修正コンディショナー及び、超高精度門形フェーシングユニットにて常に最高レベルの加工状況を実現します。

[SPP3800]
・対角寸法最大2400mmのプレートに収納できる世界唯一の10世代用液晶フォトマスク対応の高精度オスカータイプポリッシングマシンです。
ワークを保持するワークヘッドはワークの交換時105度旋回するため、ワークの着脱作業が容易に行えます、
また本機の研磨部は錆の発生しない材料と発塵の少ない構造を採用して、ワークのスクラッチを防止しています。
・ポリッシングテーブルはグラナイトを使用して、研磨加工による熱変形を最小限にすることで、テーブルの平面度の変位を防止します。
　また、研磨スラリはワーク両側及び研磨パッド中心から供給されるため、ワーク全面にわたり安定したスラリの供給が可能です。
・研磨テーブルに加圧されたワークヘッドを半径方向に揺動するアームで、揺動と昇降機能を備えています。
　この装置の揺動機構は、ACサーボモータで駆動されているため、プロセス実行中に揺動速度、揺動角度および加圧力を変えることが可能です。