半導体関連製造装置

角テーブル形ポリッシングマシン　SPH3000

SPH3000

長尺ワークに対応するためヘッド左右移動形のポリッシングマシン

・Tダイやスロットダイと呼ばれる塗工装置用ノズル加工用にヘッド左右移動形のポリッシングマシンを開発しました。
・設置面積は間口5.4×奥行2.5m以内と従来の円テーブル形と比べ、設置面積はコンパクトです。また、ノズル加工用に前後移動を可能にしました。