半導体関連製造装置

ファイナルポリッシャー　PNX332B

PNX332B/312

研磨ヘッドと搬送機構に特殊な構造を採用、高精度且つ高スループットで安定したウェハーの加工が可能なファイナルポリッシャー

・300mmファイナルポリッシャーのベストセラー。
・原子レベルの超鏡面・超高輝加工を実現します。
・3テーブルあるポリッシュステージで、中研磨から仕上げ研磨まで６枚を同時研磨、インデックス搬送方式で４枚を同時搬送する高生産機です。