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SiCインゴット研削盤

SiC Ingot Grinder ～SICインゴットの全自動加工装置～

シリーズラインナップ

・UGM360NC2HX・OGM390NC2HX

特徴

・UGM360NC2HX
XRDを搭載してC面方位測定後の両端面研削加工
・OGM390NC2HX
外周仕上げ加工後、XRDで方位測定してノッチ又はオリフラ加工

対応ワークサイズ：6″ 8″

研削盤

半導体関連製造装置

周辺機器

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