CNCロータリー超精密平面研削盤UPR3NC / UPR18NC
CNC Ultra Planarization Rotary Surface Grinding Machine
～より確かな超精密・高生産性を達成～
シリーズラインナップ
UPR3NC チャックサイズ φ300mm
UPR18NC チャックサイズ φ1,800mm
コンセプト
超高速スピンドルに適応した高精度ギャップ加工、CD金型、精密ブレード等のサーキュラ加工に最適なロータリー研削盤。
特徴
UPR3NC
・平行/平面度0.3μm/φ300mm以内の超精密加工をコンセプトに、可変油静圧スライドシステム/テーブル、エアベアリング/ロータリーテーブルの最大級システムで構築された超精密のロータリー平面研削盤。
・ロータリーテーブルにはエアベアリングを採用。回転精度は、ラジアル/アキシャル共に0.05μｍを達成しています。
・超精密真直運動精度を被削材に転写させることで、上下切込みの最小設定単位は10nmを実現しています。
UPR18NC
・機械本体仕様はアプリケーションによって異なりますので、仕様のレイアウトと共にオーダーメイドでの対応となります。
(仕様は要相談となります)
CNCロータリー超精密平面研削盤 UPR3NC
CNCロータリー超精密平面研削盤 UPR18NC (仕様は要相談となります)
